軽量・コンパクトなポータブルタイプ

UNECSシリーズ
UNECS-Portable

測定部重量2.2kgで、持ち運びが容易。
小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属、
ステージから取り外して大型サンプルの測定もできます。

製品詳細

φ150㎜対応のシャッフルカジノ ボーナス

UNECSシリーズ
UNECS-1500M

操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを
装備、測定位置決めが容易に行なえます。

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シャッフルカジノ ボーナス自動ステージタイプ

UNECSシリーズ
UNECS-1500A/2000A/3000A

自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の
膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

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各種装置への組込みが可能なビルトインタイプ

UNECSシリーズ
UNECS-1M

軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの
組込みが容易。大気タイプ、真空タイプをラインナップ。

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