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シャッフルカジノ vip向けの製造技術ソリューションを提供します。
アルバックは、IGBTやSiCをはじめとする各種シャッフルカジノ vipの製造においてNo.1の納入実績を持っています。
SiC
Si
量産用ドライエッチング装置
量産用ドライエッチングシャッフルカジノ
ドライエッチング装置NEシリーズは、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。
アッシング装置
アッシングシャッフルカジノ ログイン
NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。
マルチチャンバ型 スパッタリング装置
マルチチャンバ型スパッタリングシャッフルカジノ
搬送室、プロセスモジュールのバリエーション組み合わせにより、多種多様な成膜用途（Metal、PZT、BST、AlN、SiNx、Al2O3）に対応が可能なクラスター式スパッタ装置です。
バッチ式高真空蒸着装置
eiシリーズ
高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。
操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。
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