装置稼働率のUP
豊富な実験検証設備による高い信頼性の実現
安心のサポート
全国34か所のサービス拠点、および強力なASIAのサービスネットワーク
細かな要件に対応
40年におよぶ様々な電源経験を活かした開発
A2Kシリーズ
RFS-Nシリーズ
HPSシリーズ
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大容量DC電源
長年培ってきた電源のアプリケーションノウハウを設計に反映したスパッタリング用DC電源
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異常放電防止ユニットA2Kシリーズ
後付けパルスユニット、高スループット異常放電防止ユニット
RF電源/マッチングボックスRFS-Nシリーズ
高速マッチング機能搭載プラズマプロセス用RF電源
EB電源HPSシリーズ
思いのままのSweep波形、エレクトロンビーム蒸発源専用の電源