High-temp シャッフルカジノ ベガウォレットplanter for SiCIH-860PSIC
シャッフルカジノ ベガウォレットplantation System

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シャッフルカジノ ベガウォレットplanter for mass production with high temp ESC for SiC.

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Features

  • Continuous シャッフルカジノ ベガウォレットmplantation
  • Up to 700keV
  • Chain implantation by software
  • Small footprint
  • From R&D to mass production

Applications

  • SiC devices

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