大面積処理用イオンガン新機種を開発～処理能力を大幅に向上～

株式会社シャッフルカジノ 出金は基板表面クリーニングやエッチングに使われるイオンガンの新規モジュールを開発しました。従来のイオンガンでは使用時間に伴いエッチングレートが下がるという課題がありましたが、新規イオンガンではプラズマ発生部の構造を見直し、常に一定のエッチングレートを確保できるようになっています。

【新型イオンガンの概要】

[特長]

イオンガン性能比較グラフ

新型イオンガン ILシリーズ

【搭載可能装置】

●インライン インターバック式スパッタリング装置: SIVシリーズなど

●カルーセル式スパッタリング装置: SVシリーズなど

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シャッフルカジノ 出金販売株式会社

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