イオン注入シャッフルカジノ ボーナス
研究開発用中電流イオン注入シャッフルカジノ ボーナスIMX-3500
中電流イオン注入シャッフルカジノ ボーナスIMX-3500は、最大エネルギ200kV、ウェーハサイズ8インチまでの、イオン注入シャッフルカジノ ボーナスで、大学等での研究開発に最適です。
特長
- 最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。
- イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。
- HVターミナル部分は、量産シャッフルカジノ ボーナスと同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。
仕様
| エネルギ | 30～200keV（オプションで3～200keV対応） |
| 最大ビーム電流 | 11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV) |
| 最小ビーム電流 | 150nA |
| イオン種 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他 |
