イオン注入シャッフルカジノベガウォレット

SiC用高温イオン注入シャッフルカジノベガウォレットIH-860PSIC

シャッフルカジノベガウォレット

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入シャッフルカジノベガウォレットです。

シャッフルカジノベガウォレット

特長

自動連続高温処理注入が可能
1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能
（オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応）
デュアルエンドステーションにて高スループットを実現
（A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能）
チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減
コンパクト設計
試作から量産まで幅広く対応可能

用途

SiC向けイオン注入シャッフルカジノベガウォレット

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