材料 スパッタリングターゲット

IGZOターゲット

アルバックでは、IGZO　TAOS （In、Ga、Zn、Oを用いた透明アモルファス酸化物半導体）で使用されるIGZO ターゲットを製造、販売しています。 パーティクルを抑制するためターゲットの高密度化・分割数削減に取り組むとともに、世界のほとんどのディスプレイメーカーに対し、高品質なIGZOターゲット材料、IGZO用スパッタリング装置、プロセスをトータルで納入しています。また、アルバックは長さ約3mの大型IGZOターゲット材料の開発に成功しました。この大型IGZOターゲットは、TFT特性の劣化を抜本的に解決すると期待されています。