バッチ式高真空蒸着シャッフルカジノ ログインeiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するためのシャッフルカジノ ログインです。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。
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